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半导体光刻胶反应釜防爆模温机案例
来源:珞石机械浏览:893发布时间: 2021-11-18 15:15
![]() | 半导体光刻胶反应釜防爆模温机案例 Successful cases |
案例介绍
光刻胶是一种高分子化合物,主要用于微电子制造中的光刻工艺在微电子制造中,光刻胶的应用非常广泛,可以用来制造芯片、光学器件、MEMS(微机电系统) 等微型器件。此案例客户是半导体材料行业。
案例现场
半导体光刻胶反应釜防爆模温机案例
选用设备
产品名称:防爆模温机
机器型号:EUOCBF
设备功率:6KW
功能配置:整机隔离式防爆 EXdII BT4,PLC编程控制,带冷却。
案例特点
反应釜控温光刻胶,使用温度需要150度,反应期间会有放热,所以需要增加冷却功能,设计1 平方( 板式换热器 )。